多模组三维光学轮廓仪
标配ZDot专利技术，可选装多模式光学系统。强大的成像测量功能，使其能够对各种样品进行测量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理等。
· 纳米及微米级台阶测量
· 粗糙度分析
· 薄膜厚度测量
· 三维轮廓测量
· 全表面缺陷测量及分类
· 特征图形全自动侦测与表征
· 高深宽比表面轮廓成像
· True color（真彩）无限远焦点图像
模式选择
适用范围 | ZDOT | ZI | ZIC | ZSI | ZFT |
粗糙度＞40nm | √ | ||||
粗糙度＜40nm | √ | ||||
大视场、Z轴高分辨 | √ | ||||
15nm～25mm台阶 | √ | ||||
5nm～100μm台阶 | √ | ||||
＜10nm台阶 | √ | ||||
30nm＜膜厚＜75μm | √ | ||||
膜厚＞75μm | √ |
基础模块
横向准确度＜1% | 彩色CCD：2/3”，2448×2048 |
水平分辨率：54nm | 最大可测高度：40mm |
Z轴分辨率：13nm/2nm | 光源：高亮度LED |
自动XY载台150×150mm | 样品反射率：0.5%~100% |
测试系统选项
· 标准物镜：2.5×，5×，10×，20×，50×，100×，150×
· 特殊物镜：长工作距离，浸没物镜，TTM物镜
· ZI、ZIC、ZFT、ZSI（0.5Å分辨率，0.1nm台阶高度测试）
载台与卡盘选项
· 手动100mm×100mm或300mm×300mm载台
· 自动150mm×150mm或180mmx200mm载台
· 压电陶瓷载台（2nm闭环精度，200µm工作距离）
· 高精度倾斜载台
· 手动旋转载台
· 卡盘：2"-6"、65mm-95mm、背光卡盘等，可定制
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