白光干涉仪
支持垂直扫描和移相干涉测量法，高分辨率地测量亚纳米级的表面形貌。采用TotalFocus 技术，可以产生令人惊叹的 3D 自然彩色图像，每个像素都处于聚焦状态。
- 从纳米级到毫米级的3D台阶高度
- 3D粗糙度、波纹度、翘曲度和形状，纹理表征
- 3D缺陷表面形貌、缺陷表征
- 大型透明薄膜的表面进行高分辨率扫描
- 高粗糙度，低反射率，划痕表征
- 3D边缘轮廓测量
2mm宽视野
The Profilm3D以10倍物镜提供2毫米视野,提供手动或自动物镜切换炮塔等配置可弹性运用于需使用多物镜应用之样片
自动样品台
100 /200mm自动XY样品平台，自动对焦，Tip-Tilt功能
粗糙度成像增强
粗糙度增强模式 (ERM) 可提高条纹对比度，从而提高透镜等斜率较大的表面的保真度，并改善了粗糙表面上的信噪比
移相干涉成像（PSI）
TotalFocus 无限景深成像
光学性能 机械规格
主要参数 | WLI（VSI） | PSI（选配） | Z轴行程 | 100mm | |
厚度量程 | 50nm～10mm | 0～3μm | Pizeo（压电）行程 | 500μm | |
RMS重复性 | 1.0nm | 0.1m | 垂直扫描速度 | 12μm/秒 | |
台阶高度精度 | 0.7% | 相机 | 2592 x 1944（5MP） | ||
台阶高度重复性 | 0.1% | 相机变焦 | 1×，2×，4× | ||
样品反射率 | 0.05%～100% | Tip-Tilt样品台 | ±5°，手动 | ||
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