薄膜厚度测量仪F20
反射干涉原理，无损测量。光源发出的光经光纤导出后照射在样品表面，样品表面与基底反射的光产生干涉，通过其相位变化与波程差可测量薄膜厚度及光学常数。
F20单点测量系统
- 样品要求：透明或半透明薄膜
- 薄膜厚度：1nm~3mm
- 基底（厚度测量）：表面光滑，可反射光线
- 基底（光学常数测量）：平整，镜面反射
- 可测量多层薄膜样品
- 膜厚、折射率和消光系数
型号 | 厚度范围 | 波长范围 |
F20 | 15nm - 70µm | 380-1050nm |
F20-EXR | 15nm - 250µm | 380-1700nm |
F20-NIR | 100nm - 250µm | 950-1700nm |
F20-UV | 1nm - 40µm | 190-1100nm |
F20-UVX | 1nm - 250µm | 190-1700nm |
F20-XT | 0.2µm - 450µm | 1440-1690nm |
F3-sX | 10µm- 3mm | 960-1580nm |
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