Mini CPS微型真空探针台
功能特点
- 介电/压电/铁电/热释电/光电材料的电学性能表征
- 机械弹性设计，避免探针损坏薄膜样品
- 可在真空、气氛环境下测量
- 小巧精密，外观精致
- 1000X显微放大，有利于实时观察样品状态
技术规格
温度范围： | -160℃～450℃ | 控温精度： | ±0.5℃ | |
升温速率： | 0～10℃/min | 制冷方式： | 电声制冷或液氮制冷 | |
样 品 台： | 40×40 mm | 样品尺寸： | φ ＜22 mm | |
温度测量： | PT100 | 探 针 臂： | 4个 | |
降温时间： | 30min降温至-160℃ | X 轴： | 行程±5mm，精度±0.01mm | |
观 察 窗： | φ26 mm | Y 轴： | 行程±5mm，精度±0.01mm | |
位移分辨率 | 10μm | Z 轴： | 行程±5mm，精度±0.01mm |
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