分子光谱-SolidSpec-3700i_3700i DUV
- 三维光学系统，超大型试样室，最大样品700×560mm
- 波长范围：240nm~2600nm（SolidSpec-3700i）
175nm~2600nm（SolidSpec-3700i DUV）
- 使用直受光单元时：190nm~3300nm（SolidSpec-3700i）
165nm~3300nm（SolidSpec-3700i DUV）
- 分辨率：0.1nm
- 杂散光：0.00008%（220nm，Nal）
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